LEBRA電 子顕微鏡（SEM） の取扱

設置場所: 電子線利用研究施設（物理実験B棟） 新棟2F 実験準備室1

機種: JSN-5200 （日本電子）

仕様:

• 2次電子検出タイプ

• タングステンフィラメント（熱陰極）

• 真空ポンプ: 水冷式デフュージョンポンプ

• 電圧: 100V

• サンプルホルダー: 4軸ゴニオ

• 検出器: シンチ レータ＋PMT

• 表示装置: CRT および ポラロイド写真

• 最大倍率: 10万倍

• 到達真空度: 8 x 10^-4 pa

• モード: AUTO（前 回値に移動。メモリ機能）, BI（コン トラスト強＆暗）

• インターロック: 冷却水が流れていないとポンプ温度で作動

立ち上げ手順

1. チラー（水冷）をON（グリーンボタン）
   室温にも依るが, 通常はLで十分
   
   
   

2. 配電盤（100V）で電源をON （左下）
   
   
   

3. 本体のキースイッチによってスタート
   排気系のウォームアップに15分掛かる（タイマーが設定されている）

4. サンプルを設置する（VENT状態）

5. VENT → EVAC （Readyになるまで待つ）
   

6. 加速電圧を最初 は1kVに設定
   真空・電圧はLCDで表示されている
   
   
   
   

7. FILAMENT ダイアルが最小であることを確認して
   HTボタンをON, CRTをON
   
   
   
   

8. 加速電圧をゆっく り上げていく（フィラメントの寿命に影響）
   サンプルの凹凸が少ない場合は低電圧でよい
   このときSPOT SIZEダイアルは11時にしておく（デフォルト）

9. LSPモードにして調整

10. BRIGHTNESSダイアルを回して, 輝線をCRT中央へもっていく

11. FILAMENTダイアルを上げていく（3時で飽和する）
    （とりあえず2時まで上げてBRIGHTNESS調整）
    輝線が, 上→下→上, とならないときはGunの位置調整が必要
    倍率を上げていって輝度が最大になるように位置調整

12. フィラメントは最大より数％小さくして使用
    （ 60〜100µA @ 25kV ）

13. EXPボタンで照射（フォーカスを調整する）

14. CONTRAST, BRIGHTNESS を調整する
    . . ._._._._._. . .
    ._._. . . . . ._._.
    
    という形状になるときが最適
    

15. 視野を広げて（TV, PIC2, PIC3モード）サンプルの位置合わせ

16. EXPモードで調整
    "倍率上げ→フォーカス調整" を繰り返し => 10万倍まで
    （VIEWモードにすると倍率x100で固定）

17. CONTRAST, BRIGHTNESSを調整 => フォーカス調整
    フォーカスが合わないときはSTIGMAを調整（X,Y 1軸ずつ行う）

18. PIC3にしてポラロイド撮影
    LCD横の PHOTO SPEED を調整し, シャッターを押す
    "A>" のように>が1つだとゆっくり（90秒）で綺麗な写真
    

    
    

終了手順

1. VENTにして（30秒くらい待って）サンプルを取り出す

2. 酸化防止のため, EVAC → Ready 状態にしておく
   

3. キースイッチをOFF, 配電盤で電源をOFF

4. 水は20分ほど流 したままにしておく